特徴
積み降ろしも全自動。標準構成
4軸マニピュレーターと6軸マニピュレーターの連携、柔軟なシェルへの挿入、安定した組み立て効果を利用してセルをシェルに挿入します。
基本パラメータ |
パラメータ値 |
装置サイズ |
|
単機容量 |
6-24PPM |
故障率DT |
≤ 2.0% |
1回限りのメリット |
> 99.9% |
平均故障間隔 |
> 8時間 ( 30分以上はダウンタイム ) |
高速24ppm成膜プロセスの模式図
以前 :
パワーバッテリーパック自動テスト次 :
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