特徴
積み降ろしも全自動。標準構成
4軸マニピュレーターと6軸マニピュレーターの連携、柔軟なシェルへの挿入、安定した組み立て効果を利用してセルをシェルに挿入します。
 
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     基本パラメータ  | 
   
     パラメータ値  | 
  
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     装置サイズ  | 
   
     
     
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     単機容量  | 
   
     6-24PPM  | 
  
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     故障率DT  | 
   
     ≤ 2.0%  | 
  
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     1回限りのメリット  | 
   
     > 99.9%  | 
  
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     平均故障間隔  | 
   
     > 8時間 ( 30分以上はダウンタイム )  | 
  
高速24ppm成膜プロセスの模式図
 
  
  
 
   
 
 
以前 :
パワーバッテリーパック自動テスト次 :
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